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XP-703D半导体特气检漏仪 ,测试仪器网专业销售,提供XP-703D半导体特气检漏仪 产品简介,技术参数.

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产地:日本 厂商:COSMOS 价格

特点:

  • 最适合于检测半导体特气的微量泄漏
  • 采用声光报警

    技术指标:

    型号
    XP-703D
    检测对象气体
    半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
    检测原理
    热线型半导体式
    采样方式
    自动吸引式
    可检测浓度(单位:ppm)
    砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气
    AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
    0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
    检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
    应答速度 10秒以内
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